四十八所晶圆用匀胶显影机采购项目

四十八所晶圆用匀胶显影机项目谈判公告

中国电子科技集团公司第四十八研究所针对晶圆用匀胶显影机进行所内谈判，现欢迎符合资格条件的单位参与谈判。

一、采购项目的名称

四十八所晶圆用匀胶显影机采购项目

二、项目编号

 CETC48-CZ-2026-1001

    三、项目内容及要求

（一）项目内容:

晶圆用匀胶显影机，1套。

（具体参见谈判文件第三部分）

（二）系统要求：

1.总体要求：

本次采购的晶圆用匀胶显影机主要用于支持晶圆光刻前段涂胶与光刻后高精度显影处理，设备配置 2 个匀胶腔、2 个显影腔，搭载低温热盘、冷盘单元等，单腔支持多路药液供给；可实现光刻胶均匀旋涂、图形精准显影、边缘轮廓管控与膜厚均匀性保障，为良率提升及工艺验证提供核心制程支撑。

2.满足买方谈判文件中提出的详细技术要求；

3.列出产品及所有培训等服务各项清单，单独报价，并列入总价；

4.交货期要求：合同签订后150天内提供所有产品并完成安装调试。 

 四、谈判参与单位资格要求

1、中华人民共和国境内依法注册的独立法人资格并有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。具备独立承担民事责任和履行合同的技术和能力的供应商；

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，谈判参与单位没有处于被责令停业，财产被接管、冻结，破产状态；

3、单位负责人为同一人或存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参与本项目的谈判；

4、谈判参与单位经营项目范围应当与谈判的内容相符，能提供正规渠道供货，谈判参与单位必须提供保证主要技术参数及要求的全新产品；

5、满足法律、行政法规规定的其他条件；满足本谈判文件规定的其他资质要求；

6、本项目不接受联合体投标。

备注：针对第1、2、3、4、5条请提供盖公章的声明文件，以上资料请在报名资料及谈判响应文件中提供。

    五、报名期限及前期技术交流

（一）凡符合资格要求并有意参加者，即日起至2026年7月23日17:30之前填写附件《报名表》发送至联系邮箱进行报名，经资格审查通过后将发送谈判需求文件给报名方；

（二）谈判文件的纸质或电子版本，以物资部获取的为准；

（三）技术交流时间：报名后如有需要，请谈判参与单位于2026年7月23日17:30之前与项目咨询人联系交流。

    六、报名截止时间及议价时间、地点

（一）报名截止时间：2026年7月23日17:00，超过截止时间的报名将被拒绝（☆）；

（二）谈判时间：2026年7月29日9:00；

（三）谈判地点：湖南省长沙市天心区新开铺路1025号；

（四）逾期送达或者不按要求密封的谈判响应文件，物资部将拒绝接收。

七、报价要求

（一）谈判响应文件应按谈判文件规定的内容编制,谈判响应文件要求正反面打印；

（二）谈判响应文件须将技术响应文件和商务响应文件分开装订、分开密封，其中正本一份，副本三份；

（三）正式参与单位需提交详细公司营业执照（由公司加盖公章）、质量体系认证、近三年经审计的财务审计报告等全套文件，要求密封盖好封章。

（四）报价采用清单报价方式，价格为含税单价，报价需包含运输、安装调试和操作维护培训等费用。即标的物到达最终用户指定地点并且能正常使用后开发票的价格（税票原则上为13%增值税专用发票）；

（五）优惠率各参与单位自定，谈判响应文件中只得有一个总报价；

（六）谈判响应文件中的单价和总价全部采用人民币，报价应是谈判范围内的全部工作内容的价格体现。

（七）本项目控制价格为190万元人民币。

　　八、谈判保证金

（一）本项目谈判保证金人民币￥10000.00元；

九、谈判组织方名称

中国电子科技集团公司第四十八研究所

十、谈判项目联系人姓名和联系方式

商务联系人：张女士   199-0846-5208

地      址：湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

联系  邮箱：caigoubu@cs48.com

需求联系人：阳先生    193-3089-9240

中国电子科技集团公司第四十八研究所

                               2026年7月20日